TX- 係列

TX-30S

客戶選擇TX-係列是因為其緊湊的尺寸,精確的溫度控製和其高可靠性。 TX-係列可加熱和製冷。您也可以選擇一個更寬控溫度範圍,或為您定製一個特殊的配置。 

【應用領域】
  • 半導體設備 8英寸(Applied DPS poly/metal,Super E, eMax; Lam Alliance 9100 oxide,9400 poly,9600 metal, Lam Exelan); 12英寸(Lam 2300 Poly,Metal,EXELAN;Applied Super E, eMax), PVD, CVD等
  • 激光設備, 分析設備, 掃描電子顯微鏡, Turbo或擴散泵, 太陽能/平板顯示器


    【性能參數】
    ●低溫可到-60℃, ●磁耦合泵,無泄漏, ●使用環保可替代冷媒, ●可遠程控製(CMS)
    ●對應各主機廠商通信協議


  • 【水冷係列產品】
    熱交換器
    單通道低溫
    單通道低溫
    單通道超低溫
    雙通道低溫

    【風冷係列產品】
    單通道低溫
    單通道低溫