TX-20A

TX-20

【性能參數】

低溫可到-30℃
磁耦合泵,無泄漏
使用環保可替代冷媒
可遠程控製(CMS)
服務於 8英寸(Applied DPS poly,DPS metal,Super E; Lam Alliance 9100 oxide,9400 poly,9600 metal, Lam Exelan); 12英寸(Lam 2300 Poly,Metal,EXELAN)

【產品規格】

型號 TX-20A
溫度控製 溫度控製範圍 : -30℃~+90℃
溫度控製精度 : ±0.1℃(無負載變化時)
循環液 :Novec;Galden;DI/EG;DI
1.1Kw磁耦合泵
20 Litter/Min @0.4Mpa(-10 deg.C/ HT-135)
冷凍機 冷卻能力:3.6kw @-20℃
冷媒:HFC
冷卻水:25L/min @+20℃
加熱絲 2Kw
外形尺寸 485(W)×675(D)×1200mm(H)
重量 約200Kg
電源 3相AC208V 32A


冷卻能力曲線】

TX-20A